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跨越27年的历史，开启全球性企业新未来
用途：
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特点：
IPH系列螺杆真空泵能够在普遍的应用领域提供优良的性能，适用于严苛制程。
它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。
k8凯发(国际)官方网站奇异型线设计，上海，台湾，制造。
较之前的版本节能25%，设置有省电模式。
带有加热系统阻止制程物沉积。
优化的尺寸，即插即用。
产品样本和手艺手册
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2021-08-17
产品外观图
